分光エリプソメトリー 第2版
本, 藤原 裕之
によって 藤原 裕之
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内容紹介 分光エリプソメトリーとは偏光解析法ことであり、試料表面から反射される光の偏光状態の変化を測定することによって表面状態を解析する手法である。分光エリプソメトリー測定装置および解析技術は更なる発展を遂げ、半導体薄膜のナノ領域の計測のみならず、近年は有機ELを中心とする有機デバイスの材料評価法としても脚光を浴び、またバイオ材料の有力な評価法にも利用され、応用範囲は飛躍的に広がっている。「第2版」では最新の動向を踏まえ,特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。 内容(「BOOK」データベースより) 「第2版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。 著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より) 藤原/裕之 1991年早稲田大学理工学部応用化学科卒業。1996年東京工業大学大学院博士課程修了、博士(工学)。1996年ペンシルバニア州立大学研究員。1998年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。2001年独立行政法人産業技術総合研究所研究員。2003年同研究所主任研究員。2007年同研究所太陽光発電研究センター研究チーム長。2008年国立大学法人岐阜大学工学部教授。同大学未来型太陽光発電システム研究センター部門長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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以下は、分光エリプソメトリー 第2版に関する最も有用なレビューの一部です。 この本を購入する/読むことを決定する前にこれを検討することができます。
分光エリプソメータについて書かれた本は珍しく,内容もわかりやすく書かれており研究者にはお勧めです
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